报告题目:聚焦金属等离子体在大规模纳米制造上的应用
报 告 人:潘亮博士,助理教授
单位:美国普渡大学
报告时间:2017年7月10日(星期一)下午15:00
报告地点:学术会议中心二楼小报告厅
Abstract:金属等离子体以渐逝波的形式存在于金属表面,是光场波动和金属内部的自由电子的密度波互相耦合的结果。金属等离子体具有独特的波动性质,可以有效的把光学能量聚焦在纳米尺度,在光学近场实现对衍射极限的突破。这个技术已经实现在诸多领域的应用,例如纳米尺度光刻和成像,增强光伏产品吸收,新一代磁学存储和新型光电芯片。在金属等离子体聚焦的过程中,强光场在纳米尺度下可以引发很多有趣而且重要的物理现象,比如光子电子声子之间的强烈的非平衡态耦合作用和非局域性的材料反应。对这个领域的深入理解可以带来更多的新型应用。在这个讲座中,我们会报告我们近年来在这个领域取得的进展,包括:(1)亚10纳米尺度的光学聚焦和成像,(2)基于金属等离子体直写的高速光刻技术,(3)基于金属等离子体的超多电子束光刻技术。
Biography:潘亮,助理教授,1978年生,先后获得中国科学技术大学近代力学系学士(2001)和硕士(2004)学位,美国加州大学伯克利分校硕士(2009)和博士(2010)学位。2010至2012年间在美国国家自然科学基金会的SINAM纳米中心任博士后研究员。2012年至今就职于美国普渡大学机械工程系和Birck纳米中心。所领导的科研团队主要从事于开发新型的纳米和微米尺度的光学加工技术。
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